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四探針法和四端子法是什么?

更新時(shí)間:2024-04-11      瀏覽次數(shù):425

NITTOSEIKO日東精工 (原 三菱化學(xué))

表面電阻率測(cè)試儀


應(yīng)用行業(yè):用于液晶半導(dǎo)體、材料研究院等行業(yè)。


四點(diǎn)探針法是將四個(gè)針狀電極[圖3.3.2 四點(diǎn)探針]沿直線放置在樣品上,如圖[圖3.3.1 使用四點(diǎn)探針測(cè)量]所示。

在兩個(gè)外探針(A和D)之間流過恒定電流,測(cè)量?jī)蓚€(gè)內(nèi)探針(B和C)之間產(chǎn)生的電位差以求出電阻。


接下來,通過將獲得的電阻(R,單位:Ω)乘以樣品厚度t(cm)和校正因子RCF(電阻率校正因子)來計(jì)算體積電阻率。

這樣,四探針法和四探針法共用相同的測(cè)量系統(tǒng),僅與樣品接觸的電極部分不同。


只需將四探針法的探針(四探針電極)壓在樣品上即可進(jìn)行測(cè)量,與之前的四探針法相比,

無需在樣品上形成電極,大大提高了工作效率。

[表3.3 四探針法與四探針法的比較] 四探針法產(chǎn)生的電場(chǎng)圖像如[圖3.3.3 四探針探針產(chǎn)生的電場(chǎng)]所示。

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